電子工業廢氣VOCs產生環節及污染物類型:

　　VOCs排放涉及涂裝行業、農藥醫藥、石油化工行業、涂料油墨染料生產、家具制造業、印刷業、干洗業、電子工業、合成革與人造革等行業。

　　電子工業廢氣VOCs排放主要特點:

　　電子工業是VOCs排放的主要行業之一，電子工業廢氣VOCs排放種類多，組分復雜。

　　一般來說，廢氣排放中風量較大，VOCs濃度較低。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點。

　　排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體

　　現在有的VOC電子工業廢氣處理方法可以簡單分為兩大類：

　　一類稱為破壞性方法，包括蓄熱燃燒法和催化焚燒法;

　　另一類稱為回收性方法，常用的回收方法有吸收法、吸附法和光催化氧化技術。

　　一.蓄熱燃燒法：

　　蓄熱式熱氧化(簡稱RTO)回收熱量采用一種新的非穩態熱傳遞方式。主要原理是：有機廢氣和凈化后的排放氣交替循環，通過多次不斷地改變流向，來大限度地捕獲熱量，蓄熱系統提供了極高的熱能回收。

　　通過燃燒來消除有機物的，其操作溫度高達700℃-1,000℃，這樣不可避免地具有高的燃料費用;為降低燃料費用，需要回收熱量，有兩種方式：傳統的間壁式換熱，新型非穩態蓄熱換熱技術。

　　二.催化燃燒法：

　　本法是把廢氣加熱到200～300℃經過催化床催化燃燒轉化成無害無臭的二氧化碳和水，達到凈化目的。該法適用于高溫、中高濃度的有機廢氣治理，國內外已有廣泛使用的經驗，效果良好。該法是治理有機廢氣的有效方法之一，但對于低濃度、大風量的有機廢氣治理存在設備投資大、運行成本較高的缺點。

　　三.活性炭吸附法：

　　利用吸附劑(粒狀活性炭和活性炭纖維)的多孔結構，將廢氣中的VOC捕獲。將含VOC的有機廢氣通過活性炭床，其中的VOC被吸附劑吸附，廢氣得到凈化，而排入大氣。